Produktbeschreibung
Produktspezifikationen
| Standards | ASTM A269, ASTM A632, SEMI F19, SEMI F20 |
| Stahlsorten | TP316L (UNS S31603) |
| Gleichwertige Standards | EN 10216-5: 1.4404 / 1.4435; JIS G3459: SUS316L; ASME BPVC Abschnitt II SA-269 TP316L. |
| Außendurchmesser (OD) | 1/8" – 4" (3,18 mm – 101,6 mm) |
| Wandstärke (WT) | 0,035" – 0,120" (0,89 mm – 3,05 mm) |
| Länge | Bis zu 12 m oder in Spulenform |
| Oberflächenbehandlung | Elektropoliert (EP), blankgeglüht (BA) |
| Produktionsprozess | Kalt-gezogen/kalt{1}}gewalzt |
| Zustand | Lösungsgeglüht, im Reinraum verpackt, doppelt verpackt |
TP316L enthält 2,0–3,0 % Molybdän und weist eine hervorragende Beständigkeit gegen Lochfraß und Spaltkorrosion (PREN größer oder gleich 24) auf, die 304L deutlich überlegen ist. Unter Bedingungen des chemischen Transports wie HCl, HF und NH₄OH, die üblicherweise in Halbleiter-Nassreinigungsstationen und Ätzgeräten vorkommen, weisen elektropolierte Edelstahlrohre TP316L eine geringere Korrosionsrate auf.
Das Rohr wird einer Kaltumformung und Oberflächenelektropolitur unterzogen, wodurch eine Oberflächenrauheit von Ra kleiner oder gleich 0,13 µm erreicht wird, wodurch der Flüssigkeitswiderstand verringert und es für UHP-Gassysteme geeignet wird.
Maßgeschneiderte Dienstleistungen
- TORICH bietet maßgeschneiderte Abmessungen und Toleranzen mit präzise kontrollierten Außendurchmessern und Wandstärken von ±0,025 mm sowie Präzisionsschneiden und Entgraten.
- Die Schläuche werden einer Endreinigung und staubfreien Trocknung in einem Reinraum der ISO-Klasse 5 (Klasse 100) unterzogen, gefolgt von einer Vakuum-- oder Stickstoff--gespülten Verpackung in doppelten- oder dreifach{6}reinraumtauglichen-Beuteln, komplett mit rückverfolgbarer äußerer Etikettierung.
- Es stehen kundenspezifische Rohrendenbearbeitungsdienste zur Verfügung, darunter rechtwinkliges Schneiden und Anfasen, VCR-Anschlüsse, Bördeln/Bördeln sowie NPT- oder G-Gewinde.
- Es stehen kundenspezifische Optionen für die Oberflächenrauheit zur Verfügung: Standard-EP (Ra kleiner oder gleich 0,2 μm), EP mit hoher -Reinheit (Ra kleiner oder gleich 0,15 μm) und EP mit ultrahoher Reinheit (Ra kleiner oder gleich 0,1 μm).
Chemische Zusammensetzung
| Element | C | Mn | P | S | Si | Cr | Ni | Mo |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| TP316L (%) | Kleiner oder gleich 0,030 | Kleiner oder gleich 2,00 | Kleiner oder gleich 0,045 | Kleiner oder gleich 0,030 | Kleiner oder gleich 1,00 | 16.0–18.0 | 10.0–14.0 | 2.0–3.0 |
Mechanische Eigenschaften
| Eigentum | Zugfestigkeit (MPa) | Streckgrenze (MPa) | Dehnung (%) | Härte (HB) |
| Wert | Größer oder gleich 485 | Größer oder gleich 170 | Größer oder gleich 35 | Kleiner oder gleich 95 |
Mögliche alternative Noten
- Wenn die Kosten im Vordergrund stehen, ist TP304L eine Option; Es enthält kein Molybdän und ist kostengünstiger als TP316L, weist jedoch eine geringere Lochkorrosionsbeständigkeit auf und eignet sich daher für Massengassysteme in Anlagen, die ausgereifte Prozessknoten von 28 nm und mehr verwenden.
- 316L VAR dient als Premium-Upgrade; Es bietet eine höhere Materialreinheit und weniger Oberflächenfehler und eignet sich daher für kritische Prozessgasleitungen in den fortschrittlichsten Fertigungsknoten (7 nm und darunter).
- Für extrem korrosive Umgebungen-z. B. mit Flusssäure, konzentrierter Salzsäure oder fluorhaltigen Chemikalien-, in denen TP316L ungeeignet ist, ist Hastelloy C-22 mit einem PREN-Wert von über 42 eine geeignete Wahl.
Anwendungsbereiche
- UHP-Gasversorgungssysteme– Hochreine Gasverteilung für N₂, O₂, H₂, Ar, He und spezielle Halbleitergase.
- Chemikalienverteilungssysteme (CDS)– Transfer von hochreinen Prozesschemikalien und Säuren.
- Reinstwassersysteme (UPW).– Rohrleitungen für die Verteilung von Reinstwasser in Halbleiterqualität-.
- Halbleiterprozessausrüstung– Gas- und chemische Verbindungen für CVD-, PVD-, ALD-, Ätz-, Implantations- und Diffusionsgeräte.
- Gasschränke und Ventilverteilerkästen– Innenrohre für Gaskontroll- und -verteilungssysteme.
- Analytische Instrumentierung– Hochreine Schläuche für GC-, MS-, FTIR- und Prozessüberwachungsgeräte.
Produktshow
Prüfgeräte
Fabrikausrüstung
Beizausrüstung
Produktpaket
FAQ
F: Was ist die typische Innenoberflächenbeschaffenheit Ihrer elektropolierten Rohre?
A: Wir verwenden elektropolierte Edelstahlrohre, die den ASTM A269-Standards entsprechen. Die Innenfläche ist extrem glatt, mit einer typischen Rauheit Ra kleiner oder gleich 0,4 μm und kann auf Kundenwunsch weiter auf Ra kleiner oder gleich 0,15 μm verfeinert werden.
F: Wie stellen Sie eine hohe -Maßgenauigkeit der Rohre sicher?
A: Die Maßgenauigkeit wird durch präzises Kaltziehen, kontrolliertes Glühen und eine strenge Kontrolle des Elektropolierprozesses gewährleistet. Jedes Rohr wird auf Außendurchmesser, Innendurchmesser, Wandstärke, Geradheit und Ovalität geprüft und die Messergebnisse werden im Mill Test Certificate (MTC) festgehalten.
F: Ist dieser Schlauch zum Orbitalschweißen oder WIG-Schweißen geeignet?
A: Ja. Unsere Rohre sind hervorragend schweißbar. Eine Vorreinigung wird empfohlen. Eine Passivierung oder Elektropolitur nach dem Schweißen kann die Oberflächenglätte und Korrosionsbeständigkeit der Rohre in hochreinen Systemen wiederherstellen.
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